精密機械組
一、前言
1990年微機電系統受到科技先進國家大量投資支持以來，此領域被視為21世紀產業之另一顆新星。它整合了機構、材料、光學、半導體製作技術、及信號處理等技術，應用範圍更涵蓋通訊、電腦、醫療、航太、汽車、家電、化學、環保等各行業。本校之機電光研究所已於日前成立「微細加工實驗室」，同時規劃一系列的微細加工的製程研究，並結合已有的「精密儀器中心」、「精密光電量測實驗室」、「奈米材料實驗室」、「微流體實驗室」以及「機械視覺實驗室」，共同進行微機電系統技術的研究開發。並提供教師與學生在相關研究與技術之訓練，爾後亦將研究所得之成果提供廠商進行技術轉移。
二、規畫目標
2.1奈米材料之應用(Application Of Nano-Material)
應用「奈米材料實驗室」所研製出的奈米碳管(Nano-carbon
Tube)，進一步開發其工程應用。例如：電磁屏障(EMI Shielding)應用、熱傳介質(Thermal Interface)應用、奈米微壓力元件(Nona
Scale Pressure Sensors)等等。
2.2微機電元件開發(Micro Mechanical Part Development)
應用準分子雷射微影蝕刻、微電鑄(Micro Electric Plating)、微放電(Micro-EDM)、微模具(Micro
Model)、微型射出(Micro Injection)等非半導體製程之微細加工技術，結合本校「電子研究所」之積體電路製造技術，製行微型化機械之加工製作，以期開發微泵(Micro
Pump)、微閥(Micro Valve)、微齒輪組(Micro Gear set)、微流道(Micro Channel)等微型化機械。
2.3生物晶片之研製(Bio-Chip Implementation)
運用微機電元件技術研製可應用於生醫方面的微泵、微閥、微管路等元件，進一步研製可拋棄式(Disposal)生物檢驗晶片。例如：冠狀動脈狹窄檢驗晶片(Chip
of Coronary Arterial Stenosis Analysis)、血液膽固醇之檢驗晶片(Chip of Blood Glucose Analysis)、糖尿之檢驗晶片(Chip
of Diabetes Analysis)等等。
2.4整合目標
整合機構、熱流、固力、控制、材料、光學、電子、半導體製作以及信號處理等技術，甚至能源傳輸問題，可有效整合本校機械系、電子系與電機系所中與機、電、光等相關領域之設備與師資，達到資源整合的功效。
三、應用實例
3.1運用於量測血流之微管道陣列
如圖1所示之微管道陣列，可結合「微細加工實驗室」、「微流體實驗室」以及「機械視覺實驗室」，進行血球流動觀測與血流量測。
圖1運用於量測血流之微管道陣列
3.2醫療檢驗光碟
如圖2所示之醫療檢驗光碟，可結合「微細加工實驗室」、「精密儀器中心」以及「精密光電量測實驗室」，進行醫療檢驗光碟之研發。
圖2 醫療檢驗光碟
3.3無閥式微型壓縮機
如圖3所示之無閥式微型壓縮機，可結合「微細加工實驗室」、「精密儀器中心」、「微流體實驗室」、「精密光電量測實驗室」以及「機械視覺實驗室」，共同加以開發此無閥式微型壓縮機。
圖3無閥式微型壓縮機示意圖
四、相關儀器與設備
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準分子雷射微細加工系統 |
微細加工實驗室 |
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微電鑄機 |
微細加工實驗室 |
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熱壓成型機 |
微細加工實驗室 |
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微射出機 |
微細加工實驗室 |
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微放電加工系統 |
微細加工實驗室 |
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掃描式電子顯微鏡 |
精密儀器中心 |
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原子力顯微鏡 |
精密儀器中心 |
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粒子影像速度量測儀 |
機械視覺實驗室 |
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顯微影像放大系統 |
機械視覺實驗室 |
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EVISION影像處理設備 |
機械視覺實驗室 |
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立體視覺影像處理模組 |
機械視覺實驗室 |
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雷射都卜勒測速儀 |
可視化實驗室 |